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音圈电机驱动高速反射镜

采用音圈电机作为驱动装置的小型化刚性承载高速反射镜(高速振镜、快速反射镜),,包括:平面反射镜片、镜片压块、反射静座、直线音圈电机、关节轴承、轴承压环、圆螺母、电机支撑板、压缩弹簧、球面支撑座、弹簧座、调整垫片、滚珠、支撑基座、电容传感器。
采用音圈电机直接推动反射镜片支撑板,减少了快速反射镜Z轴发个方向的尺寸;4个电容传感器与4个音圈电机交叉分布,减少了快速反射镜X\Y轴方向的尺寸;采用压缩弹簧实现球面轴承座和滚珠对快速反射镜运动部分的二次支撑,更易于控制系统的调试和质量控制;采用电容传感器的差动测量,即系每次的反馈信号均由4个传感器查分获得,其高了控制系统的精度。
采用音圈电机驱动的快速反射镜体积更小,特殊的球面支撑达到了360度自由旋转;直接驱动镜片基座减少中间环节,使其相应时间更小,可控带宽大大提高。
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